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VTC-200P真空旋轉涂膜機/勻膠機

簡要描述:VTC-200P真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。VTC-200P真空旋轉涂膜機腔體不可抽真空,工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節約材料。腔室的上蓋可以對樣品進

  • 產品型號:VTC-200P
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2019-05-17
  • 訪  問  量:3248

詳細介紹

價格區間1-5萬產地類別國產

 

產品名稱

VTC-200P真空旋轉涂膜機

產品型號

VTC-200P

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有進出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:不需要

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm承重50kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1設有12組程序,每組包含6個運行階段,每段增減速率設置范圍:100—2000rpm/s,每段時間范圍:0—60s

2真空吸附方式固定樣件,操作簡便

3、吸盤真空度可以達到-0.08MPa

4、使用定位工具可將樣件很容易放在中心位置以減少偏心造成震動飛片。

5、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,更換方便簡單。

6、電機采用24V直流無刷電機,無級調速可靠性高,適應性強,維修與保養簡單噪音低,震動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂厚度的*性和均勻性。

7、本機可置于手套箱內使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。

8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。

9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。

10、腔體通體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能。

11、全英文操作系統。

12、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止

13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數值,更直觀可靠。

 

技術參數

1、電源:220V   50HZ

2電機功率:350W/24V

3、轉速:500rpm-6000rpm之間可調

4.可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段,

5、每段增減速率設置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍:0-60s

6、吸盤規格φ100mm

7、本機可選配加熱功能:加溫范圍RT-100%

               加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質

               溫度單獨控制,與主機程序控制無關聯

產品規格

尺寸:φ250mm×360mm;重量:20kg

標準配件

1

φ100mm真空吸盤

 

1

2

O型膠圈

1

3

滴液器

 

1個

4

滴液器支架

1個

5

中心定位器

 

1個

6

無油真空泵 

 

1臺

可選配件

進口移液器

 

國產移液槍

 

其它尺寸的真空吸盤

 

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